标准编号：T/CCGA 30001-2019
标准名称：超纯氨
英文名称：Ultra pure ammonia
发布部门：中国工业气体工业协会
起草单位：苏州金宏气体股份有限公司、中国工业气体工业协会
标准状态：现行
发布日期：2019-10-29
实施日期：2020-01-29
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了超纯氨产品的技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于工业液氨通过吸附预纯化、精馏提纯、终端纯化生产的超纯氨产品。该产品是微电子氮化硅掩蔽膜的主要原材料，是半导体、光电子领域、发光二极管（LED）行业的重要原材料。
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