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GB/T 39144-2020 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法

标准编号:GB/T 39144-2020
标准名称:氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法
英文名称:Test method for magnesium content in gallium nitride materials—Secondary ion mass spectrometry
发布部门:国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位:中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京聚睿众邦科技有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、有色金属技术经济研究院、厦门市科力电子有限公司
标准状态:现行
发布日期:2020-10-11
实施日期:2021-09-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了氮化镓材料中镁含量的二次离子质谱测试方法。
本标准适用于氮化镓材料中镁含量的定量分析,测定范围为不小于5×1014 cm-3。
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