标准编号：GB/T 39516-2020
标准名称：微纳米标准样板（几何量）
英文名称：Micro nano standard samples (geometric)
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、成都工具研究所有限公司、广西壮族自治区计量检测研究院、中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、中国计量大学、珠海市怡信测量科技有限公司
标准状态：现行
发布日期：2020-11-19
实施日期：2021-06-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了微纳米标准样板（几何量）的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。
本标准适用于线间隔为0.05 μm～10 μm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01 μm～100 μm的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2 nm～1 000 nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25 nm～1 000 nm的纳米线宽标准样板。
本标准适用于线间隔为0.05 μm～10 μm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01 μm～100 μm的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2 nm～1 000 nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25 nm～1 000 nm的纳米线宽标准样板。
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