标准编号：T/JGXH 005-2020
标准名称：超快激光精密微纳加工设备
英文名称：Ultrafast laser precision micro & nano machining equipment
发布部门：武汉激光学会
起草单位：武汉华工激光工程有限责任公司、武汉市标准化研究院
标准状态：现行
发布日期：2020-12-30
实施日期：2020-12-31
标准格式：PDF
内容简介
本文件规定了超快激光精密微纳加工设备的主要技术参数、技术要求、安全与防护、精度检验、检验方法、检验规则及标志、包装、运输与储存。本文件适用于超快激光精密微纳加工设备的研制、生产和交付。
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