标准编号：T/SZCA 2-2021
标准名称：洁净生产车间环境在线监测技术规程
英文名称：Technical specification for cleanroom environment on-line monitoring
发布部门：深圳市洁净行业协会
起草单位：深圳市中明科技股份有限公司中国电子系统工程第二建设有限公司深圳市建筑设计研究总院有限公司广西安圣检测技术有限公司深圳市亿天净化技术有限公司深圳市科斯莱环境科技实业有限公司傲通环球环境控制（深圳）有限公司东莞市华连净化设备有限公司深圳市亿天源环境科技有限公司略阳朗意医疗科技有限公司
标准状态：现行
发布日期：2021-03-27
实施日期：2021-06-19
标准格式：PDF
内容简介
1 总则
2 术语
3 设计
3.1 一般规定
3.2 布点原则
4 洁净生产车间基本要求
4.1 一般规定
4.2 环境静电监测及防护、接地
4.3 潜在环境破坏因素及分析
4.4 洁净生产车间环境监测指标
5 洁净生产车间监测系统组成
5.1 管理及监控系统
5.2 数据同步服务系统
5.3 数据处理系统
5.4 数据采集及远程控制系统
5.5 通讯系统
5.6 系统扩展说明
6 仪器、设备及终端
6.1 仪器、设备、监控终端组成
6.2 网关及监控终端设备要求
6.3 洁净生产车间环境监控终端设备基本要求
7 施工安装基本要求
8 系统调试
9 竣工验收
10 维护与保养
10.1 监测数据备份规程
10.2 在线监测设备定期保养及校准制度
10.3 健全维护保养记录
本规程用词说明
附录A 洁净等级划分参考表
附录B 在线监测数理统计与分析表
2 术语
3 设计
3.1 一般规定
3.2 布点原则
4 洁净生产车间基本要求
4.1 一般规定
4.2 环境静电监测及防护、接地
4.3 潜在环境破坏因素及分析
4.4 洁净生产车间环境监测指标
5 洁净生产车间监测系统组成
5.1 管理及监控系统
5.2 数据同步服务系统
5.3 数据处理系统
5.4 数据采集及远程控制系统
5.5 通讯系统
5.6 系统扩展说明
6 仪器、设备及终端
6.1 仪器、设备、监控终端组成
6.2 网关及监控终端设备要求
6.3 洁净生产车间环境监控终端设备基本要求
7 施工安装基本要求
8 系统调试
9 竣工验收
10 维护与保养
10.1 监测数据备份规程
10.2 在线监测设备定期保养及校准制度
10.3 健全维护保养记录
本规程用词说明
附录A 洁净等级划分参考表
附录B 在线监测数理统计与分析表
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