标准编号：JJF 1916-2021
标准名称：扫描电子显微镜 校准规范
英文名称：Calibration Specification for Scanning Electronic Microscopes (SEM)
发布部门：国家市场监督管理总局
起草单位：中国计量科学研究院
标准状态：现行
发布日期：2021-07-28
实施日期：2022-01-28
标准格式：PDF
内容简介
本规范适用于扫描电子显微镜的校准。
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