标准编号:JJF 1917-2021
标准名称:显微标尺校准规范
英文名称:Calibration Specification for Micropattern Standards
发布部门:国家市场监督管理总局
起草单位:山西省计量科学研究院、江苏省计量科学研究院、中国计量科学研究院
标准状态:现行
发布日期:2021-07-28
实施日期:2022-01-28
标准格式:PDF
内容简介
本规范适用于刻线宽度为0.3 μm及以上一维或二维显微标尺的校准。
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