标准编号：GB/T 25915.10-2021
标准名称：洁净室及相关受控环境 第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments—Part 10:Classification of surface cleanliness by chemical concentration
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位：中国工程物理研究院激光聚变研究中心、深圳市吉隆洁净技术有限公司、苏州市计量测试院、中国电子系统工程第二建设有限公司、苏州宏远净化技术有限公司、陕西中电精泰电子工程有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、烟台宝源净化有限公司、深圳市丽风净化工程有限公司、中国标准化协会、中国合格评定国家认可中心、上海市室内环境净化行业协会、上海风神环境设备工程有限公司、无锡汉佳医疗科技有限公司、上海浩泽诺瑞空气净化科技有限公司、茂盟(上海)工程技术股份有限公司
标准状态：现行
发布日期：2021-08-20
实施日期：2022-03-01
标准格式：PDF
内容简介
本文件定义了洁净室中有关化合物或化学物质（包括分子、离子、原子、颗粒物）存在情况的表面洁净度分级系统。
本文件适用于洁净室及相关受控环境中所有表面，如墙面、顶棚、地面、工作环境、工具、设备和装置。 注1： 本文件仅考虑微粒子的化学性质，未考虑微粒子的物理性质。
本文件不包括污染物与表面之间的相互作用。 注2： 本文件不涉及污染产生的过程，不涉及与时间有关的影响因素（沉降、沉积、老化等）以及与过程有关的活动（如转移、处理等），也不涉及为确保符合性的统计质量控制技术指南。
本文件适用于洁净室及相关受控环境中所有表面，如墙面、顶棚、地面、工作环境、工具、设备和装置。 注1： 本文件仅考虑微粒子的化学性质，未考虑微粒子的物理性质。
本文件不包括污染物与表面之间的相互作用。 注2： 本文件不涉及污染产生的过程，不涉及与时间有关的影响因素（沉降、沉积、老化等）以及与过程有关的活动（如转移、处理等），也不涉及为确保符合性的统计质量控制技术指南。
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