标准编号：T/IAWBS 015-2021
标准名称：氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
英文名称：Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of Ga2O3 single crystal substrate
发布部门：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
起草单位：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟，北京邮电大学，北京镓族科技有限公司
标准状态：现行
发布日期：2021-09-15
实施日期：2021-09-22
标准格式：PDF
内容简介
本文件规定了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。本文件适用于熔体法及其他方法生长的和定向切割晶锭制备的氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。本文件适用于β相氧化镓单晶。
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