标准编号：GB/T 2900.104-2021
标准名称：电工术语 微机电装置
英文名称：Electrotechnical terminology—Micro-electromechanical devices
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位：中机生产力促进中心、芜湖中集瑞江汽车有限公司、广东瑞克斯智能科技有限公司、北京大学、芜湖市标准化研究院、东莞市吉铼升电机股份有限公司、漳州市太龙照明工程有限公司、福州华虹智能科技股份有限公司、广东万江配电有限公司、浙江博亚精密机械有限公司
标准状态：现行
发布日期：2021-10-11
实施日期：2022-05-01
标准格式：PDF
内容简介
本文件界定了微机电装置的通用、科学与工程、材料科学、功能元素、加工技术、键合装配技术、测量技术和应用相关术语。
本文件适用于微机电技术领域。
本文件适用于微机电技术领域。
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