标准编号：SJ/T 11762-2020
标准名称：半导体设备制造信息标识要求
英文名称：Requirements for semiconductor equipment manufacturing information tagging
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：中国电子技术标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、北京京运通科技股份有限公司、中微半导体设备(上海)有限公司、北京京仪自动化装备技术有限公司
标准状态：现行
发布日期：2020-12-09
实施日期：2021-04-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了半导体设备制造信息标识的术语和定义、设计和原则、使用及相应的综合标签库。半导体设备制造信息标识包括半导体制造设备选择、安装、使用和维护时需要的各种类型的技术和商业信息。信息类型包括操作手册/指南、安装手册、维护手册、维护计划、备件/零部件清单、维修/故障排除手册、发行说明、培训手册等。
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