标准编号：T/CASAS 014-2021
标准名称：碳化硅衬底基平面弯曲的测定 高分辨X射线衍射法
英文名称：Measuring method for basal plane bending of SiC substrate — High resolution X-ray diffractometry
发布部门：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
起草单位：广州南砂晶圆半导体技术有限公司、山东大学、深圳第三代半导体研究院、广东芯聚能半导体有限公司、中国科学院半导体研究所、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
标准状态：现行
发布日期：2021-11-01
实施日期：2021-12-01
标准格式：PDF
内容简介
本文件规定了用高分辨X射线衍射法表征6H和4H碳化硅单晶衬底基平面弯曲的方法。本文件适用于（0001）面或（0001）面偏晶向的6H和4H-碳化硅单晶衬底中基平面弯曲的表征。
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