标准编号：T/CEMIA 023-2021
标准名称：半导体单晶硅生长用石英坩埚
英文名称：Quartz crucible for semiconductor monosilicon growth
发布部门：中国电子材料行业协会
起草单位：内蒙古欧晶科技股份有限公司、锦州佑鑫石英科技有限公司、江西中昱新材料科技有限公司
标准状态：现行
发布日期：2021-07-15
实施日期：2021-12-25
标准格式：PDF
内容简介
本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义，规定了规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。
本文件适用于以高纯石英砂(成分：二氧化硅)为原料，采用电弧熔融法生产，用于半导体单晶硅生长的石英坩埚。
本文件适用于以高纯石英砂(成分：二氧化硅)为原料，采用电弧熔融法生产，用于半导体单晶硅生长的石英坩埚。
下载地址