标准编号：T/CEMIA 024-2021
标准名称：半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范
英文名称：Quartz crucible manufacturing practices for semiconductor monosilicon growth
发布部门：中国电子材料行业协会
起草单位：锦州佑鑫石英科技有限公司、内蒙古欧晶科技股份有限公司、江西中昱新材料科技有限公司
标准状态：现行
发布日期：2021-07-15
实施日期：2021-12-25
标准格式：PDF
内容简介
本文件确立了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员、生产设备、主要原辅材料、生产工艺、作业环境及产品质量管控的程序和总体原则。
本文件适用于半导体单晶硅生长用石英坩埚的生产过程。
本文件适用于半导体单晶硅生长用石英坩埚的生产过程。
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