标准编号：SJ 21260-2018
标准名称：金属有机物化学气相淀积(MOCVD)设备工艺验证方法
英文名称：Technological verification procedures for metal-organic chemical vapor deposition(MOCVD)equipment
发布部门：国家国防科技工业局
起草单位：中国电子科技集团公司第四十八研究所
标准状态：现行
发布日期：2018-01-18
实施日期：2018-05-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了金属有机物化学气相淀积(MOCVD)设备工艺验证的一般要求、试验条件和验证方法等内容。
本标准适用于金属有机物化学气相淀积设备（以下简称MOCVD设备）工艺性能的验证。
本标准适用于金属有机物化学气相淀积设备（以下简称MOCVD设备）工艺性能的验证。
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