SJ 21479-2018 磷化铟晶片研磨工艺技术要求

本标准规定了军用磷化锢晶片研磨工艺的人员、环境、安全、材料、设备和仪器等一般要求，以及磷化锢晶片研磨工艺的典型工艺流程、各工序技术要求、检验要求等详细要求。
本标准适用于磷化锢晶片研磨工艺。