标准编号：SJ 21478-2018
标准名称：磷化铟单晶生长工艺技术要求
英文名称：Technical requirements for InP single crystal growth process
发布部门：国家国防科技工业局
起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
标准状态：现行
发布日期：2018-12-29
实施日期：2019-03-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了军用磷化锢单晶生长工艺的人员、环境、安全、材料、设备和仪器等一般要求，以及磷化锢单晶生长工艺的典型工艺流程、各工序技术要求、检验要求等详细要求。
本标准适用于液封直拉法(LEC)和垂直梯度凝固法(VGF磷化锢单晶生长工艺。
本标准适用于液封直拉法(LEC)和垂直梯度凝固法(VGF磷化锢单晶生长工艺。
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