标准编号：T/CNIA 0060-2020
标准名称：多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法
发布部门：中国有色金属工业协会 中国有色金属学会
起草单位：宜昌南玻硅材料有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司
发布日期：2020-05-27
实施日期：2020-08-01
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：1.83 MB
内容简介
T/CNIA 0060-2020 多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法;
多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法 T/CNIA 0060-2020
多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法 T/CNIA 0060-2020
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