标准编号：T/CNIA 0061-2020
标准名称：硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
发布部门：中国有色金属工业协会 中国有色金属学会
起草单位：洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、新特能源股份有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司
发布日期：2020-05-27
实施日期：2020-08-01
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：2.08 MB
内容简介
T/CNIA 0061-2020 硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法;
硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 T/CNIA 0061-2020
硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 T/CNIA 0061-2020
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