标准编号：GB/T 20724-2021
标准名称：微束分析 薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法
英文名称：Microbeam analysis—Method of thickness measurement for thin crystals by convergent beam electron diffraction
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位：北京科技大学、中国航发北京航空材料研究院
标准状态：现行
发布日期：2021-12-31
实施日期：2022-07-01
标准格式：PDF
内容简介
本文件描述了用透射电子显微镜/扫描透射电子显微镜测定薄晶体试样厚度的会聚束电子衍射方法。
本文件适用于测定线度为几十纳米至几百微米、厚度在几十纳米至几百纳米范围内的薄晶体试样厚度。注： 由于透射电子显微镜薄试样的厚度往往不均匀，用会聚束衍射方法测定的是试样被电子束照明区的局域厚度。
本文件适用于测定线度为几十纳米至几百微米、厚度在几十纳米至几百纳米范围内的薄晶体试样厚度。注： 由于透射电子显微镜薄试样的厚度往往不均匀，用会聚束衍射方法测定的是试样被电子束照明区的局域厚度。
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