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SJ 21404-2018 微电子封装金属外壳可伐零件预氧化工艺技术要求

标准编号:SJ 21404-2018
标准名称:微电子封装金属外壳可伐零件预氧化工艺技术要求
英文名称:Metal packages for microelectronic packaging-Technical requirements for the pre-oxidation process of Kovar piece-parts
发布部门:国家国防科技工业局
起草单位:中国电子科技集团公司第四十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第五十五研究所
标准状态:现行
发布日期:2018-01-18
实施日期:2018-05-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了微电子封装金属外壳可伐零件预氧化工艺的对人员、环境、安全等一般要求和对工艺流程、工艺准备、预氧化、检验、标识、转运和贮存等详细要求。
本标准适用于微电子封装金属外壳可伐零件预氧化工艺,铁镍合金零件预氧化工艺可参照本标准进行。
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