标准编号：SJ 21444-2018
标准名称：β-Ga203-N 型氧化镓单晶片规范
英文名称：Specification for gallium oxide monocrystalline wafers of β-Ga203-N
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所
标准状态：现行
发布日期：2018-01-18
实施日期：2018-05-01
标准格式：PDF
内容简介
本规范规定了β-Ga2O3-N型氧化嫁单晶片的要求、质量保证规定、交货准备等。
本规范适用于直径为50.8mm的β-Ga2O3-N型氧化镓单晶片（以下简称氧化镓单晶片）。
本规范适用于直径为50.8mm的β-Ga2O3-N型氧化镓单晶片（以下简称氧化镓单晶片）。
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