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T/GVS 010-2022 真空卷绕镀膜设备通用技术要求

标准编号:T/GVS 010-2022
标准名称:真空卷绕镀膜设备通用技术要求
英文名称:Generic specification for vacuum roll-to-roll coating plant
发布部门:广东省真空学会
起草单位:广东腾胜科技创新有限公司、中山凯旋真科技股份有限公司、广东生波尔光电技术有限公司
标准状态:现行
发布日期:2022-09-23
实施日期:2022-09-23
标准格式:PDF
内容简介
本文件规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积(CVD)卷绕镀膜设备。
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