T/CCGA 30007-2022 电子级三氟化氯

本标准规定了电子级三氟化氯的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、储运及安全信息的要求。
本标准适用于以氟气和氯气为原料制备的三氟化氯产品，该产品主要用于半导体等领域。