标准编号：T/ZS 0344-2022
标准名称：数字化无掩模激光直写光刻机
英文名称：Digital maskless laser direct imaging lithography machine
发布部门：浙江省产品与工程标准化协会
起草单位：杭州新诺微电子有限公司、中山新诺微电子有限公司、安吉泰熙自动化有限公司、杭州欣俊哲科技有限公司、中山新诺科技股份有限公司、中国计量大学、浙江大学、普赛微科技(杭州)有限公司、纳晶科技股份有限公司
标准状态：现行
发布日期：2022-11-10
实施日期：2022-11-17
标准格式：PDF
内容简介
前言
1 范围
2 规范性引用文件
3 术语和定义
4 产品分类
5 工作环境
6 要求
6.1 外观、尺寸和重量
6.2 主要性能
6.3 安全要求
6.4 噪声
7 试验方法
7.1 试验条件
7.2 外观检查及尺寸、重量测量
7.3 性能试验
7.4 安全检查
7.5 噪声试验
8 检验规则
8.1 检验分类
8.2 出厂检验
8.3 型式检验
8.4 判定规则
9 标志、包装、运输、贮存
9.1 标志
9.2 包装
9.3 运输
9.4 贮存
1 范围
2 规范性引用文件
3 术语和定义
4 产品分类
5 工作环境
6 要求
6.1 外观、尺寸和重量
6.2 主要性能
6.3 安全要求
6.4 噪声
7 试验方法
7.1 试验条件
7.2 外观检查及尺寸、重量测量
7.3 性能试验
7.4 安全检查
7.5 噪声试验
8 检验规则
8.1 检验分类
8.2 出厂检验
8.3 型式检验
8.4 判定规则
9 标志、包装、运输、贮存
9.1 标志
9.2 包装
9.3 运输
9.4 贮存
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