标准编号：T/CCGA 90004-2023
标准名称：泛半导体用尾气处理设备分解 移除效率的测试方法
发布部门：中国工业气体工业协会
起草单位：
发布日期：2023-12-18
实施日期：2024-01-18
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：1.14 MB
内容简介
本文件规定了泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法。
本文件适用于使用傅里叶变换红外光谱仪和便携式气体检测仪评估尾气处理设备的分解移除效率。其它仪器可参考执行。
本文件适用于使用傅里叶变换红外光谱仪和便携式气体检测仪评估尾气处理设备的分解移除效率。其它仪器可参考执行。
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