标准编号：T/CI 334-2024
标准名称：半导体设备隔振系统设计及技术要求
英文名称：Design and technical requirements for isolation systems in semiconductor equipments
发布部门：中国国际科技促进会
起草单位：上海大学力学与工程科学学院、上海大学微电子学院、中国科学院上海技术物理研究所、上海卫星工程研究所、浙江零振智能装备有限公司、上海隐冠半导体技术有限公司、上海路博减振科技股份有限公司
标准状态：现行
发布日期：2024-04-18
实施日期：2024-04-18
标准格式：PDF
内容简介
本文件规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。
本文件适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。
本文件中仪器本身被视为系统中已确定的载荷。
本文件适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。
本文件中仪器本身被视为系统中已确定的载荷。
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