标准编号：T/GVS 014-2024
标准名称：半导体设备用低温泵评价规范
英文名称：Evaluation specification for cryogenic vacuum pumps used in semiconductor equipment
发布部门：广东省真空学会
起草单位：中山凯旋真空科技股份有限公司、上海纳乇真空技术有限公司、中国科学技术大学、散裂中子源科学中心、中山市深中标准质量研究中心、佛仪科技（佛山）有限公司、佛山力合创新中心有限公司
标准状态：现行
发布日期：2024-08-02
实施日期：2024-08-02
标准格式：PDF
内容简介
本文件规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果。本文件适用于半导体设备用低温泵的评价。
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