标准编号：T/FSS 133-2024
标准名称：佛山标准 光刻气 氪氩混合气
发布部门：佛山市佛山标准和卓越绩效管理促进会
起草单位：
发布日期：2024-09-26
实施日期：2024-09-29
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：354.17 KB
内容简介
本文件规定了光刻气氪氩混合气的术语和定义、技术要求、制备、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、安全信息及质量承诺。
本文件适用于由高纯氪和高纯氩为原料制备的混合气体。
本文件适用于由高纯氪和高纯氩为原料制备的混合气体。
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