标准编号：T/CHPSA YY004-2024
标准名称：超洁净气动波纹管泵
英文名称：Ultraclean pneumatic drive bellows pump
发布部门：中国液压气动密封件工业协会
起草单位：浙江启尔机电技术有限公司、浙江大学、江苏沃凯氟精密智造有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、华海清科股份有限公司、盛美半导体设备（上海）股份有限公司、沈阳芯源微电子设备股份有限公司、上海正帆科技股份有限公司、上海至纯系统集成科技有限公司、苏州冠礼科技有限公司、创微微电子（常州）有限公司、吉姆西半导体科技（无锡）有限公司、江苏亚电科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第二研究所、江苏科沛达半导体科技有限公司、江苏芯梦半导体设备有限公司、上海市计量测试技术研究院、中国液压气动密封件工业协会
标准状态：现行
发布日期：2024-11-01
实施日期：2024-12-01
标准格式：PDF
内容简介
本文件规定了超洁净气动波纹管泵的泵结构、型号及参数、基本规定、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。
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