标准编号：T/CHPSA YY005-2024
标准名称：半导体超纯聚合物过流部件污染物检测及表面粗糙度技术要求
英文名称：Technical specification for contamination and surface roughness of wet components made of ultrapure polymer materials used in semiconductor processing
发布部门：中国液压气动密封件工业协会
起草单位：浙江启尔机电技术有限公司、上海市计量测试技术研究院、浙江大学、江苏沃凯氟精密智造有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、华海清科股份有限公司、盛美半导体设备（上海）股份有限公司、沈阳芯源微电子设备股份有限公司、上海正帆科技股份有限公司、上海至纯系统集成科技有限公司、苏州冠礼科技有限公司、创微微电子（常州）有限公司、江苏亚电科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第二研究所、江苏科沛达半导体科技有限公司、江苏芯梦半导体设备有限公司、中国液压气动密封件工业协会
标准状态：现行
发布日期：2024-11-01
实施日期：2024-12-01
标准格式：PDF
内容简介
本文件规定了半导体超纯聚合物过流部件污染物检测方法及表面粗糙度技术要求、数据整理与检测报告等。
本文件适用于超纯可熔性聚四氟乙烯（PFA）、聚四氟乙烯(PTFE)、聚偏氟乙烯(PVDF)等聚合物过流部件污染物及表面粗糙度检测。
本文件适用于超纯可熔性聚四氟乙烯（PFA）、聚四氟乙烯(PTFE)、聚偏氟乙烯(PVDF)等聚合物过流部件污染物及表面粗糙度检测。
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