标准编号：T/CSCP 0059.2-2025
标准名称：微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第2部分：选材与评价
发布部门：中国腐蚀与防护学会
起草单位：南方电网科学研究院有限责任公司、北京科技大学、中国电力科学研究院有限公司、广州天韵达新材料科技有限公司、北京材料基因工程高精尖创新中心、广州市南沙区贝科耐蚀新材料研究院、中国铁道科学研究院集团有限公司
发布日期：2025-09-01
实施日期：2025-10-01
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：595.54 KB
内容简介
本文件规定了微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,以下简称MEMS)材料腐蚀芯片及传感器的选材的基本原则、常用材料类型及其性能要求,以及材料评价方法。
本文件适用于 MEMS 材料腐蚀芯片及传感器在设计、制造与材料选型过程中的材料选择与性能评价,其他类型的材料腐蚀传感器也可参照使用。
本文件适用于 MEMS 材料腐蚀芯片及传感器在设计、制造与材料选型过程中的材料选择与性能评价,其他类型的材料腐蚀传感器也可参照使用。
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