标准编号：T/CSCP 0059.3-2025
标准名称：微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第3部分：测试方法
发布部门：中国腐蚀与防护学会
起草单位：中国电力科学研究院有限公司、北京科技大学、南方电网科学研究院有限公司、广州天韵达新材料科技有限公司、北京材料基因作程高精尖创新中心、广州市南沙区贝科耐蚀新材料研究院、中国铁道科学研究院集团有限公司
发布日期：2025-09-01
实施日期：2025-10-01
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：642.83 KB
内容简介
本文件规定了机电电统 Micro-Electro-Mechanical System, 以下简称MEMS)材料腐蚀芯片及传感器测试项目及方法、测试条件、性能评估指标及判定准则。
本文件适用于MEMS 材料腐蚀芯片及传感器的测试。
本文件适用于MEMS 材料腐蚀芯片及传感器的测试。
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