2020年2月10日 ... 本规范规定了卧式等离子体化学气相淀积设备(以下简称设备)的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。本规范适用于卧式等离子体化学气相淀

2020年2月10日 ... 本规范规定了化学机械抛光机(以下简称设备)的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。本规范适用于微组装薄膜工艺和硅晶圆的抛光工艺中的

2020年2月10日 ... 本规范规定了激光调阻机(以下简称设备)的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。本规范适用于激光调阻机的设计、生产、检验、验收与订购。

2020年2月10日 ... 本规范规定了厚膜链式烧结炉(以下简称设备)的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。本规范适用于厚膜链式烧结炉的设计、生产、检验、验收和订购。

2020年2月10日 ... 本规范规定了低温共烧陶瓷排胶烧结炉(以下简称设备)的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。本规范适用于低温共烧陶瓷排胶烧结炉（钟罩

2020年2月10日 ... 本规范规定了PVTSiC76SI1-BPO1型碳化硅单晶抛光片要求、质量保证规定及交货准备等。本规范适用于PUTSiC76SI1-BPOl型碳化硅单晶抛光片(以下简称碳化硅品片)。

2020年2月10日 ... 本规范规定了PVTCdSNI/T-BPOl型硫化镉单晶抛光片(以下简称硫化镉晶片)的全部要求。本规范适用于物理气相输运法(简称PVT法)制备的硫化镉晶片。

2020年2月10日 ... 本规范规定了高电子迁移率晶体管用半绝缘砷化嫁抛光片的全部要求。本规范适用于高电子迁移率晶体管用直径100mm半绝缘砷化镓抛光片（以下简称砷化镓抛光片）。

2020年2月10日 ... 本规范规定了板型软质导热绝缘材料(以下简称导热材料)的要求、质量保证规定和交货准备。

2020年2月10日 ... 本规范规定了XTG-10A型光纤陀螺寻北仪(以下简称寻北仪)的详细要求和质量保证规定。