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2016年12月16日 ... 本标准规定了硅基MEMS加工过程中所涉及的微小键合区域键合强度检测的要求和试验方法。 本标准适用于采用微电子工艺及相关微细加工技术制造的微小

2016年12月16日 ... 本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。 本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。

2016年12月16日 ... 本标准规定了采用氢氧化钾腐蚀工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求。 本标准适用于氢氧化钾腐蚀工艺和管理。

2016年12月16日 ... 本标准规定了微结构加工时，光刻版图设计中图形设计应遵循的基本规则。 本标准适用于采用接触式单/双面光刻、氧化扩散、化学汽相淀积〔CVD〕、物

2016年12月16日 ... 本标准规定了管材、板材液压成形工艺及分类。 本标准适用于管材液压成形工艺、主动式板材液压成形工艺、被动式板材液压成形工艺、多层板内压对