标准编号：GB/T 15909-1995
标准名称：电子工业用气体 硅烷(SiH4)
英文名称：Gas for electronic industry--Silane
发布部门：国家技术监督局
起草单位：化工部西南化工研究院
标准状态：作废
发布日期：1995-12-20
实施日期：1996-08-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。
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