GB/T 18193-2000 真空技术 质谱检漏仪校准

本标准规定了质谱检漏仪的校准程序。它仅适用于校准将灵敏元件处于高真空系统中的检漏仪。因此这个方法没有制订完整的验收试验。
本标准规定探索气体使用氦-4。但在适当的预防措施下,可以使用其他探索气体,如氩-40。
本标准程序提出了测定最小可检漏率和最小可检浓度比的两个要点。它分别应用于高真空和压力大于一个大气压的检漏仪上。