标准编号：GB/T 14144-1993
标准名称：硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
英文名称：Test method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon
发布部门：国家技术监督局
起草单位：中科院上海冶金研究所
标准状态：作废
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了硅晶体中间隙氧含量径向变化的测量方法。本标准适用于室温电阻率大于01Ω·cm的硅晶体中间隙氧含量径向变化的测量。
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