标准编号：GB/T 15861-1995
标准名称：离子束蚀刻机通用技术条件
英文名称：Generic specification of ion beam etching system
发布部门：
起草单位：电子部长沙半导体工艺设备所
标准状态：作废
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
标准格式：PDF
内容简介
规范;蚀刻;机械;离子束
下载地址
GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件
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