标准编号：GB/T 15862-1995
标准名称：离子注入机通用技术条件
英文名称：Generic specification for ion implantation equipment
发布部门：
起草单位：电子工业部第四十八研究所
标准状态：作废
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
标准格式：PDF
内容简介
离子;规范;注入机;电子元件及设备
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