标准编号：GB/T 16527-1996
标准名称：硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
英文名称：Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates
发布部门：国家技术监督局
起草单位：长沙韶光微电子总公司
标准状态：现行
发布日期：1996-09-09
实施日期：1997-05-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。
本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。
本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。
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