标准编号：GB/T 17864-1999
标准名称：关键尺寸(CD)计量方法
英文名称：CD Metrology procedures
发布部门：国家质量技术监督局
起草单位：中国科学院微电子中心
标准状态：现行
发布日期：1999-09-13
实施日期：2000-06-01
标准格式：PDF
内容简介
计量;尺寸;测量;测量方法
下载地址
标准目录
下载排行
- GB/T 15532-2008 计算机软件测试规范
- GB/T 23413-2009 纳米材料晶粒尺寸及微观应变的测定 X射线衍射线宽化法
- GB/T 16866-2006 铜及铜合金无缝管材外形尺寸及允许偏差
- GB/T 20933-2007 热轧U型钢板桩
- GB/T 19001-2016 质量管理体系 要求
- GB/T 21472-2008 食品工业用不锈钢弯头和三通
- GB/T 50123-1999 土工试验方法标准 [2007版]
- GB/T 16762-2009 一般用途钢丝绳吊索特性和技术条件
- GB 30000.3-2013 化学品分类和标签规范 第3部分：易燃气体
- GB/T 33000-2016 企业安全生产标准化基本规范
推荐内容
- GB/T 478-2008 煤炭浮沉试验方法
- GB/T 26808-2011 恒温槽与恒温循环装置 低温恒温槽
- GB/T 20035.1-2005 纺织机械与附件 交叉卷绕用圆锥形筒管 第1部分：主要尺寸推荐值
- GB/T 17008-1997 绝缘栅双极型晶体管的词汇及文字符号
- GB/T 31025-2014 机动车发动机外表面清洗液
- GB/T 24103-2009 染料中间体 产品标志、标签、包装、运输、贮存通则
- GB 28365-2012 食品添加剂 4-羟基-2,5-二甲基-3（2H）呋喃酮
- GB/T 38393-2019 龙舟
- GB/T 26721-2011 三氧化二砷
- GB/T 16969-1997 信息技术 只读120mm数据光盘(CD-ROM)的数据交换