标准编号：GB/T 17865-1999
标准名称：焦深与最佳聚焦的测量规范
英文名称：Specification for measuring depth of focus and best focus
发布部门：国家质量技术监督局
起草单位：中国科学院微电子中心
标准状态：现行
发布日期：1999-09-13
实施日期：2000-06-01
标准格式：PDF
内容简介
光学测量;测量;聚焦;焦深;规范;焦距;光学
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