标准编号：GB/T 17866-1999
标准名称：掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
英文名称：Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysisof mask defect inspection systems
发布部门：国家质量技术监督局
起草单位：中国科学院微电子中心
标准状态：现行
发布日期：1999-09-13
实施日期：2000-06-01
标准格式：PDF
内容简介
缺陷与故障;缺陷;评估;无损检验
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