标准编号：GB/T 14600-2009
标准名称：电子工业用气体 氧化亚氮
英文名称：Gas for electronic industry - Nitrous oxide
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、大连光明化工研究院
标准状态：现行
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了氧化亚氮的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于电子工业中化学气相淀积工艺。
本标准适用于电子工业中化学气相淀积工艺。
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