GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨

本标准规定了氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。
　　本标准适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。