标准编号：GB/T 20175-2006
标准名称：表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
英文名称：Surface chemical analysis-Sputter depth profiling-Optimization using layered systems as reference materials
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位：清华大学电子工程系
标准状态：现行
发布日期：2006-03-27
实施日期：2006-11-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质，提供优化溅射深度剖析参数的指南。
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