标准编号：GB/T 20176-2006
标准名称：表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
英文名称：Surface chemical analysis-Secondary-ion mass spectrometry-Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位：清华大学电子工程系
标准状态：现行
发布日期：2006-03-27
实施日期：2006-11-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准详细说明了用标定的均匀掺杂物质确定单晶硅中硼的原子浓度的二次离子质谱方法。
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