GB/T 16943-2009 电子工业用气体 氦

本标准规定了氦的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
　　本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦，以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制照中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。