标准编号：GB/T 24468-2009
标准名称：半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范
英文名称：Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability, availability, and maintainability(RAM)
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位：中国电子技术标准化研究所
标准状态：现行
发布日期：2009-10-15
实施日期：2009-12-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准修改采用SEMI E10-0304:2004《设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范》。本标准通过提供半导体制造设备（以下简称设备）在制造环境下的可靠性、可用性和维修性（以下简称RAM）性能的测量标准，为这种设备的用户和设备供应商建立一个交流的共同基础。
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